芯明天n62压电扫描台以其高频率、高分辨率等特点应用于红外热像仪中,大大提高了热像仪成像的分辨率。
平台采用机构放大设计原理,中心通孔孔径为26mm,可以实现xy轴±10μm的位移行程,产品体积小巧、结构紧凑易于集成与安装到设备中。
高精度
n62系列压电扫描台内置高可靠性压电陶瓷,分辨率可以达到0.5nm,满行程重复定位精度达纳米级。
动态性能
n62.xy20k带载10g负载在500hz频率下位移曲线。
技术参数
型号:n62
运动自由度:x、y
行程范围@120v:±8μm
行程范围@150v:±10μm
传感器类型:sgs
通孔尺寸:φ26mm
闭/ 开环分辨率:1/0.5nm
闭环线性度:0.3%f.s.
闭环重复定位精度:0.1%f.s.
俯仰/ 偏航/ 滚动:<10μrad
推/ 拉力:44/44n
运动方向刚度:x2.2/y2.2n/μm
空载谐振频率:x2/y2khz
闭/ 开环空载阶跃时间:1.5/0.7ms
承载能力:1kg
静电容量:1.6μf/轴
材质:钢、铝
重量:180g